发布时间: | 2024-05-02 |
有 效 期: | |
发货地址: | 广东省 深圳市 |
产品规格: | KSD-JYQX |
所属行业: | 机械 清洗/清理设备 超声波清洗机 |
包装说明: | 木箱 |
产品数量: | 100.00 |
价格说明: | 价格:¥350000.00 元/台 起 |
在线留言 |
全自动晶圆氧化清洗机清洗功能:
晶圆片
蓝宝石外延片
晶圆框架上的芯片
显示面板
ITO膜显示材料
有图形掩膜和无图形掩膜
掩膜坯料
薄膜式掩膜
接触式掩膜
全自动晶圆氧化清洗机光刻处理工艺:
SPM剥离
光刻胶涂膜
光刻胶剥离工艺
全自动晶圆氧化清洗机白骨化清洗:
刻蚀:
金属刻蚀(铝,铜,铬,钛)
在晶圆片上和的混合液
红外加热
全自动晶圆氧化清洗机刷洗
兆声清洗
热氮和甩干
特点:
针对21英寸外径或15x15英寸的基底
全自动晶圆氧化清洗机巨声环境清洗舱(可配备去离子水, 清洗刷, 热去离子水, 高压去离子水, 热)
化学臂
带化学喷射的可变速清洗刷
触屏用户界面
手动上下载
安全锁和报警器
全自动晶圆氧化清洗机占地尺寸30”D x 26”W
可选配项:
化学试剂传送单元
全自动晶圆氧化清洗机白骨化清洗
臭氧发生器
氢化发生器
高压双氧单元
氢过氧化物
红外加热
全自动晶圆氧化清洗机循环装置
机械手上下载单元
带EFEM和SMIF界面的 集群系统